一、江苏集萃华科高精度光学三维形貌测量仪产品介绍

Zeus是高精度的光学三维形貌检测平台，采用先进的直驱闭环运动控制，搭载多种光学检测头完美实现三维轮廓高速扫描测量。Zeus平台具备完整的软件功能，可在现代外观下进行直观的操作，轻松完成三维形貌分析，截面轮廓分析、GD&T尺寸分析、粗糙度分析、2D图像尺寸测量和分析等功能。

江苏集萃华科高精度光学三维形貌测量仪能满足不同类型产品尺寸和外观检测的需求，提供全栈式测量方案。

二、江苏集萃华科高精度光学三维形貌测量仪产品特点

1、江苏集萃华科高精度光学三维形貌测量仪实现测量软件、控制器等核心技术自主可控。

2、江苏集萃华科高精度光学三维形貌测量仪拥有国外最高等级测量设备的精度，但成本显著降低。

3、江苏集萃华科高精度光学三维形貌测量仪的综合测量精度达到0.8μm。

4、稳定的结构设计使得江苏集萃华科高精度光学三维形貌测量仪在各种应用环境，包括在线，现场和实验室，均能够精准测量。

5、专注于高要求和快速的测量需求，江苏集萃华科高精度光学三维形貌测量仪适用于在线检测、非接触测量场景实现高精度、高速测量。

6、江苏集萃华科高精度光学三维形貌测量仪提供多种扩展分析工具可选，运行稳定，免维护

7、ZeusXY运动平台行程高达400 mm x400 mm并且可选大理石底座平台。

8、江苏集萃华科高精度光学三维形貌测量仪的横向分辨率<1µm，高倾斜角±45，最大高度测量范围可达4mm，最大高度分辨能力高达1nm，传感器最高可达到36万测点/秒亚微米及分辨率。

三、江苏集萃华科高精度光学三维形貌测量仪应用领域

江苏集萃华科高精度光学三维形貌测量仪面向3C行业，可满足BGA、纳米制程、引线键合、芯片贴合、晶片加工、微结构等测量需求。

四、江苏集萃华科高精度光学三维形貌测量仪测量项目

江苏集萃华科高精度光学三维形貌测量仪测量项目包括：轮廓、三维面粗糙度、厚度、体积、几何尺寸、直线度、截面面积、二维线粗糙度、磨损、平面度、面积等。