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  高精度WAFER检测X-Y平台系统
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设备名称高精度WAFER检测X-Y平台系统
生产企业上海元银自动化设备有限公司
类别名称数控系统、功能部件
更新时间2008-6-23 11:39:27
产品概述
特征: 行程:200*200~300*300  平面度:±4μm  重现度:±1μm  绝对精度:±4μm  适配无尘室100,10  适配真空度10~3mbar  适用范围广泛,可根据客户需要提供整合动子模组及不同型式导轨的订制产品或组合产品,并在短期内提供客户最佳的品质  交货迅速


   产品详情

特征:

行程:200*200~300*300
平面度:±4μm
重现度:±1μm
绝对精度:±4μm
适配无尘室100,10
适配真空度10~3mbar
适用范围广泛,可根据客户需要提供整合动子模组及不同型式导轨的订制产品或组合产品,并在短期内提供客户最佳的品质
交货迅速

应用:

无尘室环境
WAFER加工、检测
激光加工机
Stencill Laster


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  企业资料  

大银集团公司成立于1989年,座落于台湾地区的台中工业区内,是台湾地区少数几家国际知名企业的合格供货商之一。本公司拥有恒温、恒湿以及防震的厂房设备,以符合超高精密级机械组件的制造环境。集团主要的产品包括:超高精密级滚珠螺杆、精密级线性滑轨、精密线性模块、Single Axis Robot、精密级线性轴承、线性致动器、线性马达、平面马达及驱动器、磁性尺测量系统、智能型滑轨、线性马...

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