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型 号
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TR Scan-101
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TR Scan-301
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工作台移动范围X
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mm
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固定式
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100
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工作台移动范围Y
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mm
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固定式
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100
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工作台移动范围Z
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mm
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240
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XYZ轴最小移动量
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um
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0.1
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XYZ轴定位精度
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um
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1
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XY轴导轨直线度
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um
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0.3
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工件最大重量
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Kg
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20
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测量头
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DHM S1
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DHM S2
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CCM P1
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DIM P1
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垂直分辨率(Z)
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nm
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0.1
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0.1
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8~780 **
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10
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轴向分辨率(XY)
|
um
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0.6
|
0.6
|
0.9~14 **
|
1
|
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典型测量范围(Ra) *
|
um
|
0.4
|
1.6
|
0.012 ~>200 **
|
20
|
|
垂直测量范围 *
|
um
|
3
|
7
|
130~24000 **
|
350
|
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最大允许误差(Ra)
|
%
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1%
|
1%
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1%~5% **
|
5%
|
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重复性(Ra,1σ)
|
nm
|
< 0.1
|
< 0.1
|
< 5~25 **
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9
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样品反射率
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%
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< 1% ~100%
|
< 1% ~100%
|
< 1% ~100%
|
-
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视场范围
|
mm
|
0.25 x 0.25
|
0.25 x 0.25
|
-
|
-
|
