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SO系列晶片处理系统
产地:西安
品牌:其他
编码:0
生产企业:西北机器有限公司

特   点

片盒到片盒的全自动工作方式

工艺工步:送片盒→涂胶显影→热板烘烤→收片盒

托盘传送方式,无污染、安全可靠

液晶显示界面,具有编程、运行、服务等功能

具有完善的故障诊断和自诊断功能

PWM伺服调速系统调速,转速范围宽,加速度高

显影时间可控、压力可调、滴胶量可控

有防碎片措施、真空辅助热板烘烤

具有边缘去胶和硅片背面清洗功能(可选件)

具有显影时防漏滴设计,彻底消除防漏

具有清洗、吹氮等功能(可选件)

 

转载请标注来源158机床网
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