系统的核心, Trimos DHM® (数字全息显微镜), 源于在生物医学领域采用的技术，系统本身基于表面结构的物理信息特征分析，采用这种技术用于工业领域表面检查为Trimos专有。它与其它产品相比较最大的优势在于可以测量反射非常大的表面，镜面抛光后或者很小平面。特别高的测量速度和纳米级的精密测量范围是它的突出优点。只需要几豪秒时间就可以获得一百万点的尺寸图像三维数据. 如此高的测量速度使它完全可以忽略因振动引起的测量问题。它内部的测量头可互换可以使用测头（接触测量）。多样的选择使它在多种工业领域的加工后表面结构测量都可使用如（所有经加工过的表面），应用领域如汽车和航空工业、表面涂敷、聚合涂层、在光学元件、医疗仪器、微型机电系统、半导体研发和质量控制等。

特点：
◆ 测量速度快
◆ 对振动不敏感
◆ 垂向分辨率到纳米级
◆ 采用激光找正非常容易实现工件定位
◆ 非接触测量，无损检测
◆ 高技术的尖端软件配置
◆ 分析表面形貌和结构
◆ 预先设定测量程序
◆ 二维和三维标准兼容

软件（附加/选项模块）：
NanoWare XT : (2D)用于二维轮廓分析的全套软件
NanoWare XT : (2D)用于二维轮廓分析的全套软件
NanoWare XTT : (2D and 3D)二维三维轮廓分析的先进模块软件
NanoWare PRO : 二维三维轮廓分析的所有模块软件

测量头：
DHM S1 :用于光亮表面粗糙度测量头
DHM S2 :中等范围的表面粗糙度
DIA P1 :有金刚石测头的测量头

标准配置如下：
根据要求配置的仪器，不含测量头
用户手册
电脑和触摸屏
TR Scan 101,无工作台，软件NanoWare LT，仅用于DHM S1 & DHM S2测量头
TR Scan 201,单轴测量工作台，NanoWare LT软件，仅用于DHM S1 & DHM S2测量头
TR Scan 301,双轴测量工作台，NanoWare LT软件，仅用于DHM S1 & DHM S2测量头
TR Scan 102,无工作台，软件NanoWare LT，仅用于DHM S1 & DHM S2测量头
TR Scan 202,单轴测量工作台，NanoWare LT软件，仅用于DHM S1 & DHM S2测量头
TR Scan 302,双轴测量工作台，NanoWare LT软件，仅用于DHM S1 & DHM S2测量头