高剛性的架構，機身與底座同寬，採用FC-30以上之高級鑄鐵。

鑄件全部經過強制回火處理(退火)與時效處理，鑄件自然季化二個月以上，以徹底消除鑄件內部應力。鑄件粗加工完成後，放置30天以上，消除加工應力，再進行精加工，使機台能長期保存完好之精度

底座採三點支撐結構設計，工作台全行程支撐結構設計，無懸垂、偏移之疑慮，確保最佳精度。

Y軸(前後向運動)滑軌獨立安裝於底座上，即工件僅Y軸方向單軸移動，無X軸鞍座之負荷。

X軸(左右向運動)滑軌獨立安裝於機身上無工件之負荷。

採用C3級精密滾珠螺桿，預拉3°C，以防止溫昇變形。

採用高鋼性滾柱型線軌，並經雷射檢測確保高速運轉之準確性。

X.Y.Z三軸與伺服馬達採直結傳動方式，無皮帶傳動之累積誤差。

X.Y.Z軸定位精度：0.003/300 mm (裝光學尺)

X.Y.Z 軸重複精度：±0.002 mm (裝光學尺)