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测量范围（mm）
Z轴（纵向） 13mm/50mm测臂、臂26mm/100mm测臂
X轴（横向） 200mm
精度
Z轴指示精度（纵向） ±(0.2+2| H |/100) mm （±0.206μｍ/ H±6ｍｍ）
测量分辨率0.31ｎｍ/50ｍｍ测臂
X轴指示精度（横向） ±0.2＋L/1000μｍ （±0.4μｍ/L200ｍｍ）
测量分辨率0.54nm
直线度精度0.05＋3L/10000μｍ （0.11μｍ/L200ｍｍ）
测量方式
Z轴（纵向） 高稳定倍光路型激光干涉计
X轴（横向） 反光分析光尺
粗糙度处理功能
参数或计算类型
JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO1997、ISO1984、DIN1990、ASME1995、符合CNOMO
标准Ra,Rq,Ry,Rp,Pv,Rc,Rz,Rmax,Rt.Rz,J,R3z,Sm,S,R△a,R△q,Rla,Rlq,TILTA.Ir.Pc.Rsk.Rku.
Rk.Rpk.Rvk,Mr1,Mr2,VO,K,tp,Rmr Rmr2,Rdc,AVH,Hmax,Hmin,AREANCRX,R,Rx,AR,NR,CPM,
SR,SAR
评价曲线
剖面曲线、粗糙度曲线、滤波纹度曲线、滤波中心线波纹度曲线、滚动圆波纹度曲线、滚动圆中心线
波纹度曲线、KIN4776特殊曲线、粗糙度中心曲线(Motif)波纹度中心曲线(Motif)、包络波纹度曲线
表面特性图表负荷曲线、功率谱曲线图、振幅分曲线
倾斜补偿
直线补偿、R面补偿、前半补偿、后半补偿、两端补偿、花键曲线补偿（直线、R面、两端补偿可
以在任意范围内）
CUTOFF值0.008、0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8、25、50mm（9级）任意（0.001-50mm）
纵倍率50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K、50K、100K、200K、500K、1000K、2000K倍
横倍率0.1、1、2、5、10、50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K倍
轮廓度处理功能
参数或计算类型
点、直线、部分圆、椭圆、最在点、最小点、距离、坐标着、极坐标差、直交/极坐标差显示、交叉
要素（点-直线、直线-下线、圆-直线、圆-圆、圆-椭圆）、对称要素（点-点、点-圆、点-椭圆、直
线-直线、圆-圆、圆-椭圆、椭圆¬-椭圆）、面积计算、Overpin计算、尺寸线显示功能、计算结果与
设计值比对、镜面反转、形状合成功能、宏功能、自动要素判定、计算点的重复功能、工件轨迹功
能、峰值谷值搜寻功能、自动操作记录.回放功能、形状设计值比对、最佳似合功能、设计值生成、
IGES/DXF转换
基准设定原点设定、X轴设定、平行移动、回转移动
最小测量间距0.0005~1mm
最大测量点数最大150,000点
纵倍率0．01～10,000,000倍（任意、自动）
横倍率0．01～10,000,000倍（任意、自动）
驱动速度
上下移动速度（Z轴） 0~200mm/s
测量速度（X轴） 0.03~3mm/s（粗糙度测量时） 0.02~20mm/s（轮廓度测量时）
移动速度（X轴） 0.02~60mm/s
上下驱动范围500mm
驱动部交换式、0.75mN、2mmR半径、金刚石
·准确性世界第一
仪器选用高稳定性双光路激光干涉式传感器，实现了世界最高分辨率:0.3nm
·设计新颖
新的圆柱形设计，可使仪器检测更大的工件
·速度快，振动小
在驱动器上采用线性马达技术，使得测量的速度快，振动小。高速测量(最大200mm/s)，实现高生产率
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