技术参数
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型号：ZLM700
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使用高性能数据处理器AE950 PCI
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He-Ne激光平均波长：
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632.8 nm
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激光稳频精度：
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一小时2x10-9（±0.002ppm）
寿命内2x10-8（±0.02ppm）
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系统精度（0-40℃时）：
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±0.4ppm
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光束直径：
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6mm (可选3.2mm)
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激光管突发最大输出功率：
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1mW (激光等级2)
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每束光可测量的轴数：
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1
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线性测量距离：
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40m，可扩展为120m
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角度测量范围：
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± 15°，20m轴线范围
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平面度测量范围：
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20m行程
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直线度测量范围：
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± 5mm，2m或10m行程，
选用角度干涉仪可测30m行程
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垂直度测量范围：
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± 5mm，2m或10m行程，
30m行程需用角度干涉仪
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最大速度：
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4m/s，可选16m/s
80rad/s，角速度
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最大加速：
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无限制
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最高采样频率：
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内部1MHz，外部40MHz
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预热时间：
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10分钟
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精度/非线性：
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±0.3nm (角隅反射镜)
±0.1nm (平面反射镜)
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距离测量分辨率：
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0.6nm (角隅反射镜)
0.3nm (平面反射镜)
0.1nm 可选
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距离测量精度：
(20°±0.5°) 使用AUK时
(20°±0.5°) 真空中时
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±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
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线性度测量分辨率：
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0.6nm (角隅反射镜)
0.3nm (平面反射镜)
0.1nm 可选
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线性度测量精度：
(20°±0.5°) 使用AUK时
(20°±0.5°) 真空中时
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±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
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速度测量精度：
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±0.5ppm实测值
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角度测量分辨率：
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0.015μrad (3x10-3 弧秒)
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角度测量精度：
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±0.1ppm实测值
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平面度测量分辨率：
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0.015μrad (3x10-3 弧秒)
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平面度测量精度：
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±0.2%实测值
±0.05 弧度/米运行距离
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直线度测量分辨率：
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36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
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直线度测量精度：
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±0.5%实测值，2m行程
± 2.5%实测值，10m行程
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垂直度测量分辨率：
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36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
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垂直度测量精度：
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±0.5%实测值2m，± 0.5弧秒*
±2.5%实测值10m，± 0.5弧秒*
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数据接口：
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积分信号
32 Bit (实时时间) Dt » 20 ns |
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数据分析标准：
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ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
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工作环境：
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温度：15°C-30°C
湿度：<90%无冷凝
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储存环境：
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温度：10°C-40°C
湿度：<95%无冷凝
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耶拿尔干涉仪
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欧洲某品牌
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型号：ZLM700
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型号：XX-XX
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工作原理:
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双频激光干涉原理(外差式, 频差640MHz)
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单频零差式激光干涉原理，采用远程干涉测量法
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波长:
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632.991nm
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632.991nm
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激光输出功率:
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<1mW Class II (可选 Class 3R)
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<1mW Class II
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1小时内稳频精度:
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0.002ppm
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0.04ppm
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产品寿命内稳频精度:
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0.02ppm
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0.1ppm/年
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寿命:
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约20000小时
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约8000小时
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稳定工艺:
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温度稳定法(对两种模式进行比较，外差式)
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零差式(1种模式)
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激光束直径:
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6mm (可选3.2mm)
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6mm
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每束激光可测量的轴数:
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1-6
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1
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测量范围
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距离 :
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0...40m，可选120m
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0...40m，可选80m
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角度:
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± 15°，轴线范围20m
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± 5° ，轴线范围15m
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直线度:
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0-2m 或 0-10m
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0.1-4m 或 1-30m
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垂直度:
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0-2m 或 0-10m
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0.1-4m 或 1-30m
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分辨率
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距离 (使用角隅反射镜) :
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0.6 nm，速度v= 4m/s
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1nm，速度v=4m/s
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0.3 nm，速度v= 2m/s
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0.1 nm，速度v= 1m/s
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角度:
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0.003角秒(0.015µrad)
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0.1µrad
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直线度(短距离):
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7nm
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10nm
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垂直度(短距离):
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7nm
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10nm
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直线度(长距离):
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36nm
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100nm
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垂直度(长距离):
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36nm
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100nm
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精度
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距离:
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+/-0.4ppm
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+/-0.5ppm
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角度:
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+/-0.1ppm
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+/-0.6%实测值
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直线度(短距离):
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+/-0.5%实测值
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+/-0.5%实测值
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垂直度(短距离):
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+/-0.5%实测值
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+/-0.5%实测值
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直线度(长距离):
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+/-2.5%实测值
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+/-2.5%实测值
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垂直度(长距离):
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+/-2.5%实测值
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+/-2.5%实测值
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光学镜(直线度用):
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差分干涉镜
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无(仅使用一个Wollaston棱镜)
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系统的线性度:
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非常好(这是因为使用了差分干涉镜)
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不明(取决于Wollaston棱镜质量)
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可测量到的偏差范围
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直线度:
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+/- 5mm
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+/-2.5mm
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垂直度:
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+/- 5mm
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+/-2.5mm
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辅助调节:
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计算机辅助调节
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小孔
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接口:
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PCI
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USB
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cPCI (PXI)
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USB
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AquadB (积分信号)
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32bit实时
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采样速度:
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0.001Hz - 1MHz (可调)
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50 kHz
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