| ES－CMM（手动）技术参数 | ||
| 行程范围 | 500mm×600mm×400mm | |
| 分辨率 | 0.5um | |
| 使用环境 | 温度(20℃±2℃)温度55%－56% | |
| 空气压力 | 0.4MPa-0.5MPa | |
| 空气流量 | 100L/min-120L/min | |
| 整机尺寸 | 1.2m×1.4m×2.2m | |
| 整机承重 | 500kg | |
| 整机重量 | 850kg | |
| 控制软件 | CMM-Manager(美国IQ) | |
| 探测系统 | RENISHAW(英国)MH20I+TP20 | |
| 空间探测精度(E) | (3.5+L/300)um | |
| ES－CMM全自动（CNC）技术参数 | |||
| 型号 | ES-CMM 1086 | ES-CMM 1218 | ES-CMM 1525 |
| 行程 X轴 | 800mm | 1000mm | 1200mm |
| Y轴 | 1000mm | 1200mm | 1500mm |
| Z轴 | 600mm | 800mm | 1000mm |
| 结构模式 | 活动桥式 | ||
| 传动方式 | 直流伺服系统/预载荷高精度空气轴承 | ||
| 长度测量系统 | RENISHAW开放式光栅尺，分辨率为0.5um(可选配0.1um) | ||
| 机台 | 高精度花岗石平台（00级） | ||
| 使用环境 | 温度（20+/-2）度，温度55%-66%，温度梯度1度/米,温度变化1度/小时 | ||
| 空气压力 | 0.4MPa-0.5MPa | ||
| 空气流量 | 100L/min-120L/min | ||
| 整机尺寸(LWH) | 2.0mx1.5mx2.7m | 2.3mx1.8mx3.0m | 2.6mx2.1mx3.3m |
| 机台承重 |
1000kg | ||
| 整机重量 |
2000kg |
2200kg | 2500kg |
| 控制系统 | RENISHAW UCC1 | ||
| 操作方式 | 计算机自动控制+微电脑操纵盒（RENISHAW MCU1） | ||
| 控制软件 | CMM-Manager(美国IQ)标准版(可选配CAD模块) | ||
| 探测系统 | RENISHAW MH20i+TP20(标准配置) RENISHAW PH10T+TP20(高级配置) RENISHAW PH10M+TP20(可加激光扫描测头，选配) | ||
| 空间测量精度（E） | (3+L/300)um | ||
