第1部分：

ROKU-ROKU碌碌产业 高速微细加工机的技术理念：

     日本ROKU-ROKU碌碌在日本机床制造商，其制造的高速微细加工机，专注微细孔加工(微钻最小直径0.01mm,最大加工深度D/L=80倍)，微型轮廓或零件加工，模具清根清角加工(最小直径R0.01mm），镜面效果加工（Ra0.003um,即3nm）,超硬材料切削切削（如钨钢，淬火钢，陶瓷材料等），高硬度材料镜面加工等领域。

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第2部分：加工案例背景分析：

      随着这二三年，美国对中国发起贸易战，针对中国芯片行业卡脖子的情况越来越严重，国家层面对芯片的研发重视程度提升，天量资金进入芯片行业，探针卡夹具（含线针夹具）领域作为芯片产业链的一个环节，也受到热捧；

同时受国外技术升级影响，对探针卡测试夹具技术要求越来越高，微孔的直径往更微小方向发展。

       目前，碌碌机床测试夹具的微孔直径最小为0.018mm，加工深度一直为10倍径（加工深度为加工直径的10倍），而且两孔间孔壁厚度0.007mm（这是目前挑战过最薄的壁厚尺寸）；

      受芯片行业某日本客户要求，鄙司新近做了如下测试夹具的微孔试加工：

        机床品牌：ROKU-ROKU碌碌

        机床型号：KR-400高速微细加工机

        主轴转速：HSK-E25规格，40000rpm

        检测设备：KEYENCE基恩仕VHX-7000工具显微镜(误差2um)

        加工材料：PEEK

        微孔直径：Ø0.15mm，加工深度1.5mm，约数量500个; 

                      Ø0.08mm，加工深度0.1mm，约数量500个;

       孔壁厚度：ABCD四区的两孔之间的孔壁厚度分别0.01，0.02，0.03，0.04mm；

       加工难度：此材料硬脆，容易起毛刺，同时0.08mm微钻实在太小，对机床主轴转速及主轴跳动，刀柄装夹精度等均有很高的要求，而且直径0.08mm的微钻容易磨损；孔壁厚度最小只有0.01mm(10um) ，对机床硬件精度及热变位提出非常苛刻的要求；

      试加工目标：本次试加工主要验证微孔直径加工精度，薄壁孔加工是否会出现破壁及精度误差较大的情况！

       日本ROKU-ROKU碌碌产业株式会社，作为测试夹具领域沉浸多年的专业制造商，深得此领域的加工精髓，日本、韩国、中国台湾等地高端需求的测试夹具供应商均主力使用ROKU-ROKU碌碌高速微细加工机；

      未来2-3年之间，中国本土测试夹具供应商一定会崛起，同时测试夹具的微孔加工精度要求一定大幅提升，目前还处于上升期，现在中国本土的供应商最需要做的是技术沉淀，训练团队，积极迎战来自日本，欧美，韩国，中国台湾等地市场竞争！

第3部分：入口出口处毛刺检测 

1，微孔0.146mm入口处的检测报告分析

      上面ABCD等4个加工区域尺寸，微孔直径均0.146mm微孔，但从右下角开始往左边计算，ABCD区域的微孔的孔壁厚度分别0.01，0.02，0.03，0.04mm；

      从200倍工具显微镜来看效果，微孔0.146mm入口处，只有少量的毛刺，这个加工效果算非常不错。如果从100倍以下的效果来看，几乎是看不到任何的毛刺，在使用ROKU-ROKU碌碌KR-400高速微细加工机，对微钻的加工工艺需要很多细节上的注意；

2，出口处微孔0.08mm的检测报告分析

       从100倍工具显微镜来看效果，微孔0.08mm出口处，只有少量的毛刺，这个加工效果算非常不错。

第4部分：微孔直径检测

1，微孔0.15mm入口处直径检测报告

      上面微孔0.15mm入口处，本次实验使用国产的0.146mm规格微钻，上面检测为随机检测28孔，微孔直径测量值最小0.1438mm，最大值为0.1470mm; 整体上微孔直径检测精度误差为-2.2到1um之间，加工精度一致性非常好，碌碌高速钻机的加工稳定性非常好！

2，微孔出口处0.08mm直径检测报告

      此次测试加工，出口处的微孔直径为0.08mm，本次实验使用日本品牌0.08mm规格微钻（实际上微钻直径检测误差1um内），上面检测为随机检测58孔，微孔直径测量值最小0.0791mm，最大值为0.0832mm; 整体上检测最大精度误差为3.2um（日本基恩仕工业显微镜硬件检测精度误差2um内），加工精度一致性非常好，碌碌高速钻机的加工稳定性非常好！

第5部分：两孔之壁孔厚度检测

1,入口处微孔直径0.146mm两孔壁厚度0.01mm，(实际标准孔壁厚度为0.01mm)检测：

      微钻直径0.146mm，上面按0.01mm孔壁厚度来加工，标准壁厚为0.156mm(标准壁厚=微钻直径0.146+加工壁厚0.01mm=0.156mm)。
       上面检测报告，显示两孔中心距最小值为0.1550mm(工业显微镜检测误差2um)，最大值为0.1619mm，即孔壁厚度从最小值9um到最大值15.9um之间(实际标准孔壁为10um，孔壁误差从0.1-5.9um)，而且无一孔破壁的！

2,入口处微孔直径0.146mm两孔壁厚度0.02mm（实际标准孔壁厚度为0.02mm)检测：

      微钻直径0.146mm，上面按0.02mm孔壁厚度来加工，标准壁厚为0.166mm(标准壁厚=微钻直径0.146+加工壁厚0.02mm=0.166mm)。
     上面检测报告，显示两孔中心距最小值为0.1672，最大值为0.1712mm，即孔壁厚度从最小值0.0212mm到最大值0.0252mm之间(实际标准孔壁为0.02mm，壁厚误差为1.2um--5.2um)，而且无一孔破壁的！      

     3,入口处微孔直径0.146mm两孔壁厚度0.03mm(实际标准孔壁厚度为0.03mm)检测：

      微钻直径0.146mm，上面按0.03mm孔壁厚度来加工，标准壁厚为0.176mm(标准壁厚=微钻直径0.146+加工壁厚0.03mm=0.176mm)。
     上面检测报告，显示两孔中心距最小值为0.1761，最大值为0.1819mm，即孔壁厚度从最小值0.0301mm到最大值0.0359mm之间(实际标准孔壁为0.03mm,壁厚误差为0.1um--5.9um)，而且无一孔破壁的！    

     4,入口处微孔直径0.146mm两孔壁厚度0.04mm(实际标准孔壁厚度为0.040mm)检测：

      微钻直径0.146mm，上面按0.04mm孔壁厚度来加工，标准壁厚为0.186mm(标准壁厚=微钻直径0.146+加工壁厚0.04mm=0.186mm)，
     上面随机14孔检测报告，显示两孔中心距最小值为0.1885mm，最大值为0.1914mm，即孔壁厚度从最小值0.0425mm到最大值0.0454mm之间(实际标准孔壁为0.04mm,壁厚误差为2.5um--5.4um)，而且无一孔破壁的！