SIG-V4超精密平面磨床
用途及材料：
用来研磨蓝宝石基板、SiC基板和陶瓷等硬脆性材料之超精密平面磨床
特点：
具有以往所没有的优异机械刚性
具有高刚性，可抑制加工中的负面因子，同时兼具高效率和低损坏姓
具有高刚性，可扩增工作台的直径，亦可用于6吋晶圆的批量加工
透过非接触式的厚度检测来测量加工品轮廓，亦能以高可靠度支援批量加工
以独创砂轮进行无打磨加工，维持稳定的质量，并降低停机时间
抛光用贴付板的自动搬送系统
加工程序能以配方管理执行简单操作
咨询：135 2207 9385
超精密平面磨床 加工实例
