镭测科技推出的LY1000型非接触式激光回馈干涉仪，无需靶镜，仅利用待测工件反射甚至是散射的微弱光线即可实现高精度测量，是真正意义上的非接触式测量。
一、镭测科技LY1000非接触式激光干涉仪应用场景
镭测科技LY1000非接触式激光干涉仪除可用于传统激光干涉仪适用的测量目标外，还可适合于微、小、轻、薄、毒、易变形等不适合安装靶镜的目标测量，如液面高度、半导体晶圆位置、微机械位移、材料膨胀系数、振动等。
二、镭测科技LY1000非接触式激光干涉仪产品特点
1、具有高灵敏度，镭测科技LY1000非接触式激光干涉仪可实现对非配合目标的非接触式测量。
2、镭测科技LY1000非接触式激光干涉仪采用的准共路技术有效抑制仪器内部环境变化引起的漂移，仪器具有较小的零漂。
3、镭测科技LY1000非接触式激光干涉仪具有较高的分辨率和较大量程，测量结果可以溯源。
三、镭测科技LY1000非接触式激光干涉仪技术参数
型号 | 镭测科技 LY1000 |
激光头尺寸 | 300mm×126mm×90mm |
激光头重量 | 4kg |
激光工作波长 | 1064nm |
激光功率 | 1~5mW |
激光光束直径 | 3~5mm |
工作温度范围 | +10℃~+35℃ |
储存温度范围 | +15℃~+50℃ |
系统组成 | 激光头、控制箱、环境补偿传感器、连接电缆 |
激光稳频精度 | 1×10-6 |
线性测量范围 | 2m |
线性测量精度 | 1×10-6 |
分辨率 | 2nm |
被测物反射率 | 10-7~1 |
最高测量速度 | 50mm/s |
四、镭测科技LY1000非接触式激光干涉仪基本配置
激光测头
信号处理电箱
软件
北京镭测科技有限公司拥有多项独立的知识产权，为高新技术企业和北京市专精特新中小企业，生产的高精度测量仪器有：双折射双频激光干涉仪，非接触激光回馈干涉仪，光学元件内应力（及相位延迟）测量仪，激光纳米测尺等产品，满足机械制造、微电子、光学加工等行业的高精度测量要求。
咨询电话：159 1097 4236
