1、离子束抛光机IFS300A
畅销的离子束抛光机
双真空室，快速更换工件，离子束抛光生产效率高。
集成法拉第杯和三坐标测头，法拉第杯测量离子束空间位置及分布，三坐标侧头测量工件空间位置及姿态，从而建立精准加工坐标系，实现高确定性、高精度的离子束抛光，有效消除中高频误差。
工件侧立式装夹，离子束抛光操作方便、可靠、稳定。
无线操作手柄，
离子束抛光控制软件高度集成、智能；离子束抛光保护措施完善，具备意外断电、断水、断气等故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等。
名称 | 参数 |
加工能力 | 300mm×300mm |
可加工面形 | 平面、球面、非球面、自由曲面、抛物面等 |
可加工材料 | 石英、微晶、ULE、蓝宝石、单晶硅、碳化硅等 |
可加工精度 | 亚纳米加工精度、可实现面形RMS＜1nm超高精度加工 |
X轴行程 | ≥300mm |
Y轴行程 | ≥300mm |
Z轴行程 | ≥300mm |
离子源 | 美国Veeco HC 5cm / 德国射频离子源 |
中和器 | 美国 Veeco HCN / 德国 |
工作真空建立时间 | ≤1 hours |
副室真空建立时间 | ≤15 min |
X轴最大运动速度 | 5m/min |
Y轴最大运动速度 | 5m/min |
Z轴最大运动速度 | 3m/min |
运动轴重复定位精度 | ≤±0.01mm |
保护功能 | 具备意外断电、断水、断气等故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等 |
智能功能 | 具备智能一键开机、一键停机、定时预约加工、远程控制、日志等功能。 |
外形尺寸 | 长宽高：2.5x2.5x2.1m |
整机重量 | 4吨 |
能耗功率 | Max:12KW Avg:5KW |
2、离子束抛光机IFS1000-600B
咨询电话：13522079385
双真空室，快速更换工件，离子束抛光生产效率高。
集成法拉第杯和三坐标测头，法拉第杯测量离子束空间位置及分布，三坐标侧头测量工件空间位置及姿态，从而建立精准加工坐标系，实现高确定性、高精度的离子束抛光，有效消除中高频误差。
工件侧立式装夹，离子束抛光操作方便、可靠、稳定。
无线操作手柄。
离子束抛光控制软件高度集成、智能；离子束抛光保护措施完善，具备意外断电、断水、断气等故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等。
智能功能：具备智能一键开机、一键停机、定时预约加工、远程控制、日志等功能。
名称 | 参数 |
加工能力 | 1000×600mm，250mm厚 |
可加工面形 | 平面、球面、非球面、自由曲面、抛物面等； |
可加工材料 | 石英、微晶、ULE、蓝宝石、单晶硅、碳化硅等； |
加工光学元件精度 | 亚纳米加工精度、可实现面形RMS＜1nm超高精度加工； |
X轴行程 | ≥1100mm |
Y轴行程 | ≥700mm |
Z1轴行程 | ≥300mm |
Z2轴行程 | ≥300mm |
离子源 | 美国Veeco HC 5cm / 德国射频源 |
工作真空建立时间 | ≤1 hours |
副室真空建立时间 | ≤15 min |
X轴最大运动速度 | 5m/min |
Y轴最大运动速度 | 5m/min |
Z轴最大运动速度 | 3m/min |
运动轴重复定位精度 | ≤±0.01mm |
保护功能 | 具备意外断电、断水、断气故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等 |
智能功能 | 具备智能一键开机、一键停机、定时预约加工、远程控制、日志等功能。 |
外形尺寸 | 长宽高：3.8×3.2×2.6m |
整机重量 | 9吨 |
能耗功率 | Max:18KW Avg:7KW |
