无锡市锡山区半导体先进制造创新中心的光学非球面超精密复合加工机床UPN150G5，

是针对光学器件加工专门研制的超精密加工机床，整合了磨削、车削以及在机测量功能，一次装夹可实现纳米级光学磨削、车削及在机纳米测量和反馈补偿，

磨削加工口径最大Φ150mm，车削加工工件表面粗糙度Ra<1nm，面形精度PV值<0.1μm；

磨削加工工件表面粗糙度Ra<5nm，面形精度PV值<0.15μm。

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