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日本DISCO公司晶圆减薄机
2024-12-25 10:08:48

日本DISCO公司成立于1937 年,多年来专注于“Kiru (切)、Kezuru (磨)、Migaku (抛)”领域,形成了半导体切、磨、抛装备材料完善的产品布局。

DISCO的减薄机采用TAIKO工艺,与以往的背面研削不同,TAIKO在对晶圆进行研削时,将保留晶圆外围边缘部分(约3mm左右),只对圆内进行研削薄型化的技术。

其畅销机型DGP8760 的升级款 DGP8761 型减薄机,可通过背面研削到去除应力的一体化,高效稳定地实现厚度在 25μm以下的晶圆减薄加工。

减薄设备:包含研磨机(Grinders)、抛光机(Polishers)、研磨抛光一体机(Grinder/Polisher)、表面平坦机(Surface Planer)、晶圆贴膜机(Tape Mounter)。

研磨机型有DFG8340、DFG8540/41、DFG8560、DFG8640、DFG8830、DGP8761;抛光机型有DFP8140、DFP8141、DFP8160、DAG810。

咨询电话:13522079385

 DGP8761 型减薄机


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