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离子束抛光 新兴精密抛光技术
2024-05-09 14:51:23

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基本情况

光学精密抛光技术是提升光学元件表面质量和精度的关键工艺。它通过去除表面的裂纹、划痕和粗糙度等缺陷,显著提高光学元件的透光率、反射率和色散率等性能。目前有机械抛光、化学抛光和化学机械抛光等。离子束抛光技术是一种原子量级的无应力、非接触式抛光工艺。它在真空环境下利用惰性气体离子(如氩气离子)轰击工件表面,通过物理溅射效应实现材料的去除。简单概括就是在不接触的情况下,利用离子束轰击将被抛光材料表面搞光滑。离子束抛光的特点在于其非接触式加工方式,与传统抛光工艺相比,离子束抛光避免了因预压力导致的表面或亚表面损伤,同时,高洁净度的真空环境确保了加工过程中不会引入杂质,从而有效制造出超光滑表面。它能够快速收敛面形,实现亚纳米量级的材料去除分辨率,满足最终面形精度的严格要求。


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产业链

离子束抛光机主要由离子源、工作台、控制系统、真空系统、气体循环系统等组成。其中,离子源是核心部分,利用电磁场加速离子形成离子束。工作台用于支撑工件,控制工件的位置和角度。控制系统则负责整个设备的操作和监控。真空系统则创造一个良好的工作环境,保持离子束的稳定性。气体循环系统则用于回收加工中产生的废气及处理。离子束抛光机在精密、超精密制造领域应用广泛。如在半导体行业用于晶圆表面平台化处理和薄膜去除,以及硅片抛光、MEMS器件等加工。在光学行业用于元件的超精密元件加工、表面处理,如光学镜片抛光、激光晶体加工等。在精密模具、航空航天零部件、超精密轴承制造、生物医学的人工关节等医疗器械加工等领域都有着不少应用。


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企业介绍

美国伊士曼柯达(Eastman Kodak)最早报道该技术,并组建出离子束抛光机。

德国NTG公司是专业生产离子束抛光机的生产厂家,与德国 IOM 研究所合作推出的离子束抛光机同样具有非球面光学元件的抛光能力。

咨询设备:13522079385


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几个观点

1.技术门槛高,生产设备昂贵,虽然新的应用领域在不断开拓中,市场不断扩大,前景无疑是广阔的,但目前市场整体属于高端设备,生产企业相对较少。2.离子束抛光机,分口径大小,口径越大要求越高,并且曲面加工能力也是非常重要的指标。3.拿PPT讲故事的团队有,已有产品的企业到处讲故事的也有,这也算是行业发展初期的状况吧。


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