产品特点：

1 、非接触式测量：避免对象受损。

2 、三维表面测量：表面高度测量范围为 1nm ---200μm。

3 、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。

4 、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。

5、高速数字讯号处理器：实现测量仅需要几秒钟。

6 、扫描仪：采用死循环控制系统。

7、工作台：气动装置、抗震、抗压。

8 、测量软件：基于windows 操作系统的使用者接口，强大而快速的运算。

应用领域：

1、半导体芯片

2、液晶产品（CS,LGP,BIU）

3、微机电系统

4、光纤产品

5、资料存储盘（HDD,DVD,CD）

6、材料研究

7、精密加工表面

8、生物医学工程

机型		SIS 1200	SIS 2000
工作台	尺寸	250 mm×174 mm	350mm×350mm
	倾斜度	±3 °
测量行程		X:150mm Y:100mm	X:200mm Y:200mm
Z轴行程		50mm	100mm
运动方式		手动	自动，马达驱动
扫描速度		30μm/sec
垂直分辨率		0.1 nm
CCD		黑白CCD， 640×480 像素
物镜安装架		手动导引五孔式	手动 5个位移的可定位夹具
镜头选配		镜头：5×、10×、20×、50×

系统参数：