全自动硅片清洗机全自动硅片清洗机设备简介:型号:CGB—XX-X系列,品牌:华林嘉业—CGB 1)适合单晶硅片研磨、切割后的批量清洗,多晶硅片线剧切片后的大批量清洗。 2)工艺流程: DI水超声+氮气鼓泡→喷淋→碱超声→ 喷淋→溢流 3)设备采用联动机械手按节拍同时移动篮具,其工艺时间可以自行调节 4)标准工艺下产量:
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